| 摘要 |
В заявке описаны способы формирования покрытия с использованием плазменно-химического осаждения из газовой фазы с использованием плазмы линейной или двумерной формы при, по существу, отсутствии тока Холла. При этом обеспечивается образование химической связи или конденсирование на поверхности подложки химического фрагмента газа-прекурсора, содержащего нужный химический элемент для покрытия, или формируются конденсируемые молекулярные образования, которые сцепляются по меньшей мере с одной поверхностью подложки. Предложенные способы обеспечивают эффективный процесс получения тонкопленочных покрытий. |
