摘要 |
Zum berührungslosen Messen der Geometrie einer Werkstückoberfläche (165), insbesondere zur Messung der Geometrie von im Wesentlichen rotationssymmetrisch gekrümmten Werkstückoberflächen an mittels Honen oder Finishen bearbeiteten Werkstückabschnitten vor, während und/oder nach einer Feinbearbeitung, wird ein Messsystem (150) verwendet, das mindestens eine Messdüse (152, 153) aufweist, die an einem Werkzeug (140) angebracht und über eine Druckfluidleitung (156, 157, 155, 154) mit einer entfernt von der Messdüse angeordneten Druckfluidquelle (151) verbunden ist. Die Messdüse wird zur Durchführung einer Messung in die Nähe der Werkstückoberfläche (165) gebracht und eine vom Abstand (A) zwischen der Messdüse und der Werkstückoberfläche abhängige Eigenschaft des Druckfluids wird gemessen und zur Bestimmung des Abstands ausgewertet. Dabei wird mittels eines Durchfluss-Sensors (170) ein Fluidstrom des durch die Druckfluidleitung zu der Messdüse strömenden Druckfluids gemessen und ein Sensorsignal des Durchfluss-Sensors wird zur Ermittlung des Abstands ausgewertet. |