发明名称 | 一种指导ALD制备氧化物半导体薄膜的光谱探测方法 | ||
摘要 | 本发明属于半导体材料技术领域,涉及一种利用光谱探测技术确定CH<sub>3</sub>/CH<sub>4</sub>含量,指导ALD制备Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜的方法。利用近红外光谱仪分析近红外光谱,分析反应程度。通过调节生长温度,脉冲时间,冲洗时间等生长条件确定Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>最适宜的生长条件。本发明通过近红外光谱仪测量光吸收谱,可实时了解并控制反应进程,对提高ALD生长Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>等氧化物薄膜的质量及可控性具有重要作用,同时可提高材料的可重复性。 | ||
申请公布号 | CN104005007A | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
申请号 | CN201410257157.2 | 申请日期 | 2014.06.11 |
申请人 | 长春理工大学 | 发明人 | 方铉;牛守柱;魏志鹏;唐吉龙;房丹;王晓华;王菲;王东君;陈宇林 |
分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种指导ALD制备氧化物半导体材料的光谱探测技术,其包括以下其特征是采用如下具体步骤:(1) 选用石英或蓝宝石为衬底。 三甲基铝(TMA)和水作为反应用金属源和氧源, 高纯氮气作为载气和动力气。 反应源通入真空腔体顺序如下: TMA通入腔体, 脉冲时间为15毫秒, 等待时间为5秒; 水通入腔体, 脉冲时间为15毫秒, 等待时间为5秒。 衬底温度为150℃~200℃。重复循环上述过程若干次,直至所需薄膜厚度为止。(2) 将反应腔中的光通过光纤引出,使用近红外光谱仪测量吸收谱,检测CH<sub>3</sub>/CH<sub>4</sub>含量,判断反应进程,从而指导制备的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜。 | ||
地址 | 130022 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号 |