一种制备高纯气体的方法

摘要

本发明公开了一种制备高纯气体的方法，包括以下步骤：步骤1)、原料气体通过原料气体管道送至制备装置中；步骤2)、进入制备装置中的原料气体依次通过气液分离器，冷凝器和反应塔后处理后形成成品气体，进入成品气体管道送至用户；步骤3)、成品气体通过出气三通球阀的调整，部分成品气回流至反应塔，其中反应塔启动再生及反应功能处理后，进入再生成品气体管道。本发明能够可根据总产气量的变化达到全自动再生气体的恒流量调节；可通过再生半成品气体露点信号与再生塔电加热器的运行工况连锁调整，从而达到系统节能运行的目的；设备简单，易操作，可推广运用。

主权项

一种制备高纯气体的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)、原料气体通过原料气体管道送至制备装置中；步骤2)、进入制备装置中的原料气体依次通过气液分离器，冷凝器和反应塔后处理后形成成品气体，进入成品气体管道送至用户；步骤3)、成品气体通过出气三通球阀的调整，部分成品气回流至反应塔，其中反应塔启动再生及反应功能处理后，进入再生成品气体管道。