发明名称 |
溶胶凝胶法制备Gd和Co共掺杂的高剩余极化强度的BiFeO<sub>3</sub>薄膜的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种溶胶凝胶法制备Gd和Co共掺杂的高剩余极化强度的BiFeO<sub>3</sub>薄膜的方法,首先将Bi(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·5H<sub>2</sub>O、Fe(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·9H<sub>2</sub>O、Gd(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·6H<sub>2</sub>O和Co(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>·6H<sub>2</sub>O溶于乙二醇甲醚中,然后在80℃水浴中加热搅拌1h,再加入醋酸酐搅拌1h,得到BiFeO<sub>3</sub>前驱液,然后静置24h,再在FTO/glass基片上旋涂BiFeO<sub>3</sub>前驱液制备薄膜,将薄膜在550℃下快速退火,然后降至室温,再重复旋涂-快速退火过程直到制备出所需厚度的BiFeO<sub>3</sub>薄膜。本发明采用的溶胶-凝胶法不需要昂贵的设备,适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜,且化学组分精确可控,制备的BiFeO<sub>3</sub>薄膜是在Gd和Co的共同作用下提高了薄膜的铁电性能。 |
申请公布号 |
CN103073064B |
申请公布日期 |
2014.08.27 |
申请号 |
CN201310029789.9 |
申请日期 |
2013.01.25 |
申请人 |
陕西科技大学 |
发明人 |
谈国强;薛旭;任慧君;刘文龙;董国华;耶维 |
分类号 |
C23C20/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C20/08(2006.01)I |
代理机构 |
西安通大专利代理有限责任公司 61200 |
代理人 |
蔡和平 |
主权项 |
溶胶凝胶法制备Gd和Co共掺杂的高剩余极化强度的BiFeO<sub>3</sub>薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)将Bi(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·5H<sub>2</sub>O、Fe(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·9H<sub>2</sub>O、Gd(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·6H<sub>2</sub>O和Co(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>·6H<sub>2</sub>O溶于乙二醇甲醚中,然后在80℃水浴中加热搅拌1h,再加入醋酸酐搅拌1h,得到BiFeO<sub>3</sub>前驱液;其中,Bi(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·5H<sub>2</sub>O、Fe(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·9H<sub>2</sub>O、Gd(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·6H<sub>2</sub>O和Co(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>·9H<sub>2</sub>O的摩尔比为1.05‑x:0.97:x:0.03,且x=0.10;乙二醇甲醚和醋酸酐的体积比为3:1;BiFeO<sub>3</sub>前驱液中总的金属离子浓度为0.3mol/L;2)将BiFeO<sub>3</sub>前驱液静置24h,然后在FTO/glass基片上旋涂BiFeO<sub>3</sub>前驱液制备薄膜,再将薄膜在550℃下快速退火,然后降至室温,再重复旋涂‑快速退火过程直到制备出所需厚度的BiFeO<sub>3</sub>薄膜;其中,每次退火后,待形成的BiFeO<sub>3</sub>薄膜冷却至室温再进行下一次旋涂。 |
地址 |
710021 陕西省西安市未央区大学园1号 |