发明名称 一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法
摘要 本发明提供了一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法,所述材料的组成为NiO:0~50%,La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>:50~100%,该材料的居里温度为200~345K,具有良好的低场磁电阻;该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在650~750°C和25~50Pa氧压的条件下,用镧锶锰氧和氧化镍靶材在SrTiO<sub>3</sub>(001)基板上沉积10~25nm镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜。通过控制激光照射不同靶材的时间,使薄膜中的氧化镍含量连续可变,在200~345K范围内实现了低场磁电阻的连续可调。该复合薄膜作为磁电阻材料在磁传感器、磁存储器、晶体管等微小电子器件方面具有广阔的应用前景。
申请公布号 CN104004988A 申请公布日期 2014.08.27
申请号 CN201310060571.X 申请日期 2013.02.26
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 王占杰;宁兴坤;张志东
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人 张晨
主权项 一种镧锶锰氧‑氧化镍纳米复合薄膜材料,其特征在于:该复合薄膜材料的组成为NiO:0~50%,La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>:50~100%。
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