发明名称 |
一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法,所述材料的组成为NiO:0~50%,La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>:50~100%,该材料的居里温度为200~345K,具有良好的低场磁电阻;该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在650~750°C和25~50Pa氧压的条件下,用镧锶锰氧和氧化镍靶材在SrTiO<sub>3</sub>(001)基板上沉积10~25nm镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜。通过控制激光照射不同靶材的时间,使薄膜中的氧化镍含量连续可变,在200~345K范围内实现了低场磁电阻的连续可调。该复合薄膜作为磁电阻材料在磁传感器、磁存储器、晶体管等微小电子器件方面具有广阔的应用前景。 |
申请公布号 |
CN104004988A |
申请公布日期 |
2014.08.27 |
申请号 |
CN201310060571.X |
申请日期 |
2013.02.26 |
申请人 |
中国科学院金属研究所 |
发明人 |
王占杰;宁兴坤;张志东 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 |
代理人 |
张晨 |
主权项 |
一种镧锶锰氧‑氧化镍纳米复合薄膜材料,其特征在于:该复合薄膜材料的组成为NiO:0~50%,La<sub>0.7</sub>Sr<sub>0.3</sub>MnO<sub>3</sub>:50~100%。 |
地址 |
110015 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 |