发明名称 LED磊晶结构及制程
摘要 本发明提供一种LED磊晶结构及制程,包括一个基板、一个缓冲层以及一个磊晶层。所述缓冲层成长在所述基板的顶面,所述磊晶层成长在所述缓冲层的表面。所述磊晶层具有一个第一N型磊晶层以及一个第二N型磊晶层。所述第一N型磊晶层形成在所述缓冲层与所述第二N型磊晶层之间,所述第一N型磊晶层具有多数不规则空气孔洞。本发明并提供制造所述LED磊晶结构的制程。
申请公布号 CN102646766B 申请公布日期 2014.08.27
申请号 CN201110041286.4 申请日期 2011.02.18
申请人 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 发明人 凃博闵;黄世晟
分类号 H01L33/10(2010.01)I;H01L33/16(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/10(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种LED磊晶结构,包括一个基板、一个缓冲层以及一个磊晶层,所述缓冲层成长在所述基板的顶面,所述磊晶层成长在所述缓冲层的表面,其特征在于:所述磊晶层具有一个第一N型磊晶层以及一个第二N型磊晶层,所述第一N型磊晶层形成在所述缓冲层与所述第二N型磊晶层之间,所述第一N型磊晶层具有多数不规则的空气孔洞,所述不规则空气孔洞的孔径,在邻近所述缓冲层位置处的孔径较大,而在邻近所述第二N型磊晶层位置处的孔径较小。
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