探测装置和晶片装载器

摘要

本发明提供一种探测装置和晶片装载器。其能够使晶片收纳容器的载置高度应对由搬运机械手进行的自动搬运，且能够与大型的测试头等对应。进行形成于半导体晶片的半导体器件的电检查的探测装置，具备探测器部，其具有载置台、驱动载置台使其上所载置的半导体晶片的半导体器件与探测器接触的载置台驱动机构、容纳载置台和载置台驱动机构的探测器壳体；和晶片装载器，其具备装载器壳体、载置晶片收纳容器的收纳容器载置部、使该收纳容器载置部移动至装载器壳体外的第一位置和在装载器壳体内比第一位置低的第二位置的收纳容器载置部驱动机构、容纳于装载器壳体内且能够在晶片收纳容器与载置台之间搬运半导体晶片的晶片搬运机构。

主权项

一种探测装置，其对形成于半导体晶片的半导体器件进行电检查，该探测装置的特征在于：包括探测器部和晶片装载器，该探测器部具有：载置台；载置台驱动机构，其驱动所述载置台使该载置台上所载置的所述半导体晶片的所述半导体器件与探测器接触；和容纳所述载置台和所述载置台驱动机构的探测器壳体，该晶片装载器具有：装载器壳体；载置晶片收纳容器的收纳容器载置部；收纳容器载置部驱动机构，其使该收纳容器载置部移动至所述装载器壳体外的第一位置和在所述装载器壳体内比所述第一位置低的第二位置；和容纳于所述装载器壳体内，且能够在所述晶片收纳容器与所述载置台之间搬运所述半导体晶片的晶片搬运机构。