| 发明名称 | 包括静电衬底载体的支撑物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种支撑物，该支撑物包括：导电偏压台；具有肩部21的圆柱形式的绝缘静电衬底载体20，衬底载体20的底面面向偏压台，并且，其顶面22呈现被设置用于接收衬底的承载面；用于紧固所述肩部21在所述偏压台上的导电夹紧环，此外，该支撑物还包括用于将承载面连接到肩部211上的至少一个导电元件201-202-203。 | ||
| 申请公布号 | CN104011846A | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
| 申请号 | CN201280063150.6 | 申请日期 | 2012.12.19 |
| 申请人 | 离子射线服务公司 | 发明人 | F·托瑞格罗萨;L·洛克斯 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 郭思宇 |
| 主权项 | 一种支撑物，包括：·导电偏压台(10)；·具有肩部(211)的圆柱形式的绝缘静电衬底载体(20)，所述衬底载体(20)的底面面向所述偏压台(10)，并且，所述衬底载体(20)的顶面(22、212)呈现被设置用于接收衬底(40)的承载面；和·用于紧固所述肩部(21)在所述偏压台(10)上的导电夹紧环(30)，所述支撑物的特征在于包括用于将所述承载面连接到所述肩部(21)上的至少一个导电元件(201‑202‑203、213‑215)。 | ||
| 地址 | 法国佩尼耶 | ||