一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统及其检测方法

摘要

本发明是一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统及其检测方法，它包括相移干涉仪、两块Hindle球面反射镜、被测超大口径凸双曲面镜及计算机系统，其中计算机系统与相移干涉仪连接，两块Hindle球面反射镜实现超大口径凸双曲面镜的零检测，计算机系统上的相移干涉仪数据处理软件提取子孔径相位数据，调节被测超大口径凸双曲面镜和两块Hindle球面反射镜的相对位置，实现对被测超大口径凸双曲面镜的全口径检测，相邻子孔径有足够的重叠区域实现高精度的拼接，把得到的子孔径测试数据送入计算机系统进行拼接处理，获得被测超大口径凸双曲面镜面形信息；此发明对超大口径凸双曲面镜的研制提供了一种有效低成本检测手段，具有较大应用价值。

主权项

一种超大口径凸双曲面镜分环带检测系统，其特征在于：该检测系统包括相移干涉仪(1)、第一Hindle球面反射镜(2)、第二Hindle球面反射镜(3)、被测超大口径凸双曲面镜(4)、及计算机系统(5)，其中计算机系统(5)与相移干涉仪(1)连接，第一Hindle球面反射镜(2)用来实现对凸双曲面镜中心遮拦到内部某一环带的子孔径检测，第二Hindle球面反射镜(3)实现对凸双曲面镜内部某一环带到边缘的子孔径检测，通过调整被测超大口径凸双曲面镜(4)和第一Hindle球面反射镜(2)及第二Hindle球面反射镜(3)的相对位置，使相移干涉仪(1)获得被测超大口径凸双曲面镜(4)上有相互重叠区域的子区域，最后由安装在计算机系统(5)上的数据处理软件对所得到的子区域数据进行处理，得到被测超大口径凸双曲面镜(4)的全口径面形分布信息；所述的处理过程为:首先计算机读入所有的子孔径检测数据，判读所有的重叠区域，将重叠区域的数据进行均化误差处理，计算出具有全局优化的拼接参数，根据全局优化的拼接参数对所有子孔径检测数据进行校正，使其具有相同的参考标准；对拼接好的全口径数据进行Zernike多项式拟合，去除波前调整误差的影响，计算面形误差评价参数、波谷值(PV)和均方根值(RMS)，根据拼接好的全口径信息绘制出被测超大口径凸双曲面镜的面形信息图及三维图，即获得反映被测超大口径凸双曲面镜面形误差的全孔径波前信息。