流延模、模头及薄膜的制造方法

摘要

本发明提供一种抑制在模头的基底上设置DLC膜时所产生的龟裂的流延模、模头的制造方法及薄膜制造方法。流延膜在浓液流出口具备拆装自如的模头。模头具有基底、基底层及DLC膜。由不锈钢构成基底，并由碳化钨即WC构成基底层。在基底层上形成DLC膜。形成DLC膜时，以根据由基底与基底层的热膨胀应变产生的外力所求出的作用于基底层的应力小于基底层的断裂应力的方式决定基底与基底层的线膨胀系数、模头的长边方向的长度及气相成膜法中的加热温度的组合。根据该组合来形成基底层与DLC膜。

主权项

一种流延模，在浓液流出口具有能够分离的模头且使浓液向支承体流出，所述浓液包含聚合物及溶剂，其中，所述模头具备：不锈钢制基底；基底层，设置于所述基底之上，且所述基底层由硬质材料形成；类钻碳膜，通过气相成膜法设置于所述基底层之上；及使得σ1小于σ2的、所述基底与所述基底层的各线膨胀系数、所述模头的长边方向的长度及形成所述类钻碳膜时的加热温度的组合，其中，σ1：通过因形成所述类钻碳膜时的温度上升引起的所述基底与所述基底层的热膨胀应变而作用于所述基底层的应力；σ2：所述基底层的断裂应力。