双层热调谐光学器件

摘要

说明了光学器件，光学器件的阵列，和制造所述光学器件或阵列的技术的实施例。光学器件是利用两个半导体层(比如硅)实现的，所述两个半导体层之一包括加热器(710)，另一个包括可热调谐光波导(415)。空间上分离光学器件中的这两种功能导致相对于现有硅基光学器件来说，加热器和光波导之间的热传递更高效，对周围环境的热传递减小，和光波导中的光损失降低。

主权项

一种光学器件，包括：衬底；沉积在衬底上的第一中间层；沉积在第一中间层上、包括加热器的第一半导体层；沉积在第一半导体层上的第二中间层；沉积在第二中间层上、包括可热调谐光波导的第二半导体层；以及在第一半导体层中的加热器的至少一部分之下的第一中间层中的间隙，其中通过减小衬底和加热器之间的热耦合，所述间隙降低与光波导的热调谐相关的功耗。