MEMS振荡器

摘要

本发明公开了一种压阻MEMS振荡器，包括：谐振器本体(20)；与谐振器本体相邻的第一和第二驱动电极(30)，用于提供致动信号；以及至少第一感测电极(24)，与各个锚定点(22)相连。控制和/或处理电极(30，24)处的电压，使得从一个驱动电极(30)至感测电极(24)的馈通AC电流至少部分地偏移从另一个驱动电极(30)至感测电极(24)的馈通AC电流。

主权项

一种压阻MEMS振荡器，包括：谐振器本体（20），包括谐振器质量块部分、压阻传感器部分和锚定点；与谐振器本体相邻的第一和第二驱动电极（30），用于提供致动信号；第一和第二感测电极（24，23），与相应锚定点相连；以及控制电路（500），用于控制施加至所述驱动电极和所述感测电极的电压，并且用于处理在第一感测电极（24）处测量的信号以得出振荡器输出信号，其特征在于：所述控制电路（500）适用于控制施加至所述驱动电极和所述第一和第二感测电极（30，24，23）的电压，并且处理在所述感测电极（24，23）处测量的信号，使得通过对所述第一和第二驱动电极与所述感测电极之间的电压耦合进行平衡，从一个驱动电极（30）到所述感测电极（24，23）的馈通AC电流被从另一个驱动电极（30）到所述感测电极（24,23）的馈通AC电流至少部分地偏移，其中所述控制电路适用于：驱动DC偏置电流从第一感测电极通过谐振器本体至地，并且从第一感测电极电压得出振荡器输出信号，向驱动电极施加相等和相反的dc电压，并且向驱动电极施加相反极性的ac电压；和/或驱动DC偏置电流从第一感测电极通过谐振器本体至地，并且从第一感测电极和第二感测电极之间的电压差得出振荡器输出信号，其中在第一感测电极处将DC偏置电流提供到谐振器本体中，在第二感测电极处从所述谐振器本体抽取DC偏置电流。