发明名称
摘要
申请公布号 JP5580458(B2) 申请公布日期 2014.08.27
申请号 JP20130156299 申请日期 2013.07.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/522;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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