| 发明名称 | 铝前体、使用其形成薄膜的方法和形成电容器的方法 | ||
| 摘要 | 铝化合物由下式1表示。在式1中，X为由以下式2或式3表示的官能团。<img file="DDA0000469194630000011.GIF" wi="755" he="1160" /> | ||
| 申请公布号 | CN104004007A | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
| 申请号 | CN201410063617.8 | 申请日期 | 2014.02.25 |
| 申请人 | 三星电子株式会社;株式会社ADEKA | 发明人 | 尹相喆;樱井淳;畑濑雅子;曹仑廷;姜知那;山田直树;崔晶植 |
| 分类号 | C07F5/06(2006.01)I;C23C16/20(2006.01)I;H01G4/08(2006.01)I;H01G4/10(2006.01)I | 主分类号 | C07F5/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 金拟粲 |
| 主权项 | 由下式1表示的铝化合物，<img file="FDA0000469194600000011.GIF" wi="517" he="257" />其中X为由以下式2或式3表示的官能团：<img file="FDA0000469194600000012.GIF" wi="635" he="918" /> | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||