| 发明名称 | 表面活性添加剂和包含该表面活性添加剂的光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及表面活性添加剂和包含该表面活性添加剂的光刻胶组合物。一种聚合物，包含单体聚合的产物，所述单体包括：含有式(Ia)、式(Ib)或式(Ia)和(Ib)组合的含氮单体，和具有式(II)的可酸去保护单体：<img file="DSA00000748805900011.tif" wi="991" he="1157" />其中：a是0或1；每个R<sup>a</sup>独立的是H、F、C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基或者C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>氟化烷基，L<sup>1</sup>是直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>20</sub>亚烷基、或者单环、多环、或者稠合多环C<sub>3</sub>-C<sub>20</sub>亚环烷基，每个R<sup>b</sup>独立的是H、C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基、C<sub>3</sub>-C<sub>20</sub>环烷基、C<sub>3</sub>-C<sub>20</sub>杂环烷基、脂肪族C<sub>5</sub>-C<sub>20</sub>氧基羰基或者任选包括杂原子取代基的C<sub>1</sub>-C<sub>30</sub>酰基基团，其中每个R<sup>b</sup>是独立的，或者至少一个R<sup>b</sup>与相邻的R<sup>b</sup>相连；LN是含氮的单环、多环、或者稠合多环C<sub>3</sub>-C<sub>20</sub>亚杂环烷基；X是H、C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基、脂肪族C<sub>5</sub>-C<sub>20</sub>氧基羰基或任选包括杂原子取代基的C<sub>1</sub>-C<sub>30</sub>酰基基团；每个R<sup>c</sup>独立的是C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基、C<sub>3</sub>-C<sub>20</sub>环烷基、C<sub>3</sub>-C<sub>20</sub>杂环烷基，其中每个R<sup>c</sup>是独立的或者至少一个R<sup>c</sup>与相邻的R<sup>c</sup>相连。 | ||
| 申请公布号 | CN102796221B | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
| 申请号 | CN201210243288.6 | 申请日期 | 2012.05.28 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | D·王;C·吴;刘骢;G·波勒斯;C-B·徐;G·G·巴克利 |
| 分类号 | C08F220/18(2006.01)I;C08F220/34(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F220/16(2006.01)I;C08F220/36(2006.01)I;C08F220/38(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I | 主分类号 | C08F220/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 江磊 |
| 主权项 | 一种聚合物，包含单体的聚合产物，所述单体包括：具有式(Ic)的含氮单体，和具有式(Ⅱ)的可酸去保护单体：<img file="FDA0000498324320000011.GIF" wi="1221" he="398" /><img file="FDA0000498324320000012.GIF" wi="828" he="371" />其中：每个R<sup>a</sup>独立地是H、F、C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>烷基或者C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>氟化烷基；LN是<img file="FDA0000498324320000013.GIF" wi="247" he="248" />每个R<sup>e</sup>独立地是卤素、OR’，其中R’是H或C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>烷基，b是1‑9的整数；每个R<sup>c</sup>独立地是C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>烷基、C<sub>3</sub>‑C<sub>20</sub>环烷基、或C<sub>3</sub>‑C<sub>20</sub>杂环烷基，其中每个R<sup>c</sup>是独立的或者至少一个R<sup>c</sup>与相邻的R<sup>c</sup>相连；和每个R<sup>d</sup>独立地是C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>烷基、C<sub>3</sub>‑C<sub>20</sub>环烷基、或者C<sub>3</sub>‑C<sub>20</sub>杂环烷基，每个R<sup>d</sup>是独立的或者至少一个R<sup>d</sup>与相邻的R<sup>d</sup>相连。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||