用于制造掩模的设备

摘要

掩模制造设备包括室、激光束照射器、台、冷却系统和风扇。室中包括内部空间。室的至少一个上壁包括玻璃。激光束照射器设置在室的外部并被配置为将激光束分为多个子激光束以使子激光束照射至阴影掩模材料。台设置在室中，并且阴影掩模材料将放置在台上。冷却系统被配置为冷却内部空间。风扇被配置为将内部空间中生成的热量排放至室的外部。因此，可防止阴影掩模过热。

主权项

掩模制造设备，包括：包括内部空间的室；设置在所述室中的台，其中阴影掩模材料将放置在所述台上；激光束照射器，设置在所述室的外部并被配置为将激光束分为多个子激光束，并朝向所述台照射所述子激光束，从而使得所述子激光束照射至放置在所述台上的所述阴影掩模材料；以及冷却系统，被配置为冷却所述内部空间。