金属连线短路测试结构

摘要

本实用新型提出了一种金属连线短路测试结构，包括块形金属连线、条形金属连线和形成于两者之间的介质层，并且一部分区域条形金属连线的下方有块形金属连线，另一部分区域的条形金属连线的下方全部为介质层，条形金属连线分为保持隔离的两部分；从而模拟实际生产中化学机械研磨由金属连线密度不同造成的凹陷，凹陷造成的上方条形金属连线短路的现象，然后通过测试条形金属连线的电阻值，依照其电阻值的大小来判断条形金属连线之间是否存在短路，进而判断化学机械研磨造成的凹陷对金属连线是否存在短路的影响。

主权项

一种金属连线短路测试结构，其特征在于，所述测试结构包括至少一层块形金属连线、至少一层介质层和多个条形金属连线，其中，所述介质层形成于所述条形金属连线和块形金属连线之间，所述条形金属连线位于所述介质层和块形金属连线之上，一部分区域的条形金属连线的下方有块形金属连线，另一部分区域的条形金属连线的下方全部为介质层，所述条形金属连线分为保持隔离的两部分。