一种半导体设备门的密封装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备门的密封装置，包括门板和门框；所述门板的侧边设有向门板内表面凹陷的凹槽，所述凹槽内设有密封条，所述密封条为柔性件；所述门框的侧边且与所述密封条对齐处设有压板条，所述压板条的外侧壁上设有至少一个向外侧壁突出的突起条，所述突起条用于配合压紧所述密封条。本实用新型通过将压板条固定在门框上，进而在压板条上设置突起条，当门闭合时，在一定的压紧力的作用下，使突起条压紧固定在门四周凹槽内的密封条，进而实现门与门框之间的线密封，密封效果良好，结构简单，成本低。

主权项

一种半导体设备门的密封装置，包括门板和门框；其特征在于，所述门板的侧边设有向门板内表面凹陷的凹槽，所述凹槽内设有密封条，所述密封条为柔性件；所述门框的侧边且与所述密封条对齐处设有压板条，所述压板条的外侧壁上设有至少一个向外侧壁突出的突起条，所述突起条用于配合压紧所述密封条。