用于加热衬底的装置

摘要

本发明涉及用于根据预定温度曲线加热衬底(12)来使衬底上的材料结晶的装置(1)，所述装置(1)包含：壳体(2)；至少一处理腔(3)，所述处理腔(3)位于壳体内并具备用于穿过衬底的第一及第二开口(6、7)；入口(17)，所述入口(17)用于将包含气相材料的处理气体引入第一处理腔中；至少两个输送辊(15)，所述至少两个输送辊(15)用于将衬底输送到处理腔(3)中，其中输送辊附接到壳体(2)以便可旋转。此外，装置具备用于防止处理气体从处理腔逸出到处理腔(3)与壳体(2)之间的空间的通道空间(20、25)，所述通道空间(20、25)位于处理腔(3)中的输送辊(15)的各自的末端附近，其中各自的通道空间(20)具备在处理腔(3)的内壁(23)上的第一通道开口(21)、在处理腔(3)的外壁(24)上的第二通道开口(22)和固定在输送辊(15)周围的第一法兰(25)。

主权项

一种用于根据预定温度曲线加热衬底(12)来使所述衬底上的材料结晶的装置(1)，所述装置(1)包含‑壳体(2)；‑至少一处理腔(3、4、5)，所述处理腔(3、4、5)位于所述壳体(2)内且具备：‑用于穿过衬底(12)的第一及第二可密封开口(6、7、8、9；10、11)；‑入口(17)，所述入口(17)用于将处理气体引入所述处理腔(13、14、15)中；至少两个输送辊(15)，所述输送辊(15)用于将所述衬底(12)输送到所述处理腔(3)中，其中输送辊附接到所述壳体(2)以便可旋转，和用于防止所述处理气体从所述处理腔逸出到所述处理腔(3)与所述壳体(2)之间的空间的密封构件(20；25、26；31、32)，其中所述密封构件包含通道空间，所述通道空间位于所述处理腔(3、4、5)中的所述输送辊(15)的各自的末端附近，其中所述各自的通道空间(20)具备在所述处理腔(3)的内壁(23)上的第一通道开口(21)、在所述处理腔(3、4、5)的外壁(24)上的第二通道开口(22)和固定在所述输送辊(15)周围的第一法兰(25)。