| 发明名称 | 制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：衬底清洗：依次使用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗衬底后放入磁控溅射室样品架上；设置重金属掺杂：取钼丝固定在锌靶上，钼丝分布形状为圆心辐射状，钼掺杂量控制在0.5-10％范围内；抽取真空：将磁控溅射室抽真空；调节溅射气氛：分别以氧气和氩气作为反应气体和溅射气体输入磁控溅射室，氧气纯度为99.99％，氩气纯度在99.95％以上，氧气流量与氩气流量的比值控制在3：2至4：1之间；磁控溅射生长：使用60W的溅射功率，在0.8pa、室温条件下，先对锌靶预溅射5min，然后进行反应溅射生长钼掺杂的氧化锌薄膜。本发明制得的产品与现有的氧化锌薄膜相比具有更好的透过率。 | ||
| 申请公布号 | CN104004990A | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
| 申请号 | CN201410242295.3 | 申请日期 | 2014.06.03 |
| 申请人 | 上海理工大学 | 发明人 | 王咸海;洪瑞金;脱文刚;张大伟;陶春先 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人 | 郁旦蓉 |
| 主权项 | 一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：衬底清洗：依次使用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗衬底后放入磁控溅射室样品架上；设置重金属掺杂：取钼丝固定在锌靶上，钼丝分布形状为圆心辐射状，钼掺杂量控制在0.5‑10％范围内；抽取真空：将所述磁控溅射室抽真空；调节溅射气氛：分别以氧气和氩气作为反应气体和溅射气体输入所述磁控溅射室，氧气纯度为99.99％，氩气纯度在99.95％以上，氧气流量与氩气流量的比值控制在3：2至4：1之间；磁控溅射生长：使用60W的溅射功率，在0.8pa、室温条件下，先对所述锌靶预溅射5min，然后进行反应溅射生长钼掺杂的氧化锌薄膜。 | ||
| 地址 | 200093 上海市杨浦区军工路516号 | ||