具有放电感应电桥的等离子源及利用其的等离子处理系统

摘要

等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。

主权项

一种等离子处理室，其特征在于， 包括：室外壳，其内部具有放置了被处理基板的至少一个接受器； 横切室外壳内部设置的多个放电感应电桥； 室外壳的多个开口部，连接多个放电感应电桥的两端； 变压器，具有在多个放电感应电桥上安装的磁芯和初级线圈；以及 和初级线圈电连接的第一电源供给源， 其中，通过第一电源供给源驱动初级线圈的电流，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体，感应出完成变压器的次级电路的室外壳的内侧AC电位； 其中，磁芯具有分离为马蹄状的二个芯的结构，并具有移动型结构，以可变地调节相互之间的间隔。