发明名称 |
一种光瞳面光强分布的测量方法 |
摘要 |
本发明提出一种照明光瞳面光强分布的测量方法,通过使用面阵传感器获取多幅反映光瞳形貌的图像,并通过建立合理的传感器模型、迭代计算得到一幅相对精确的光瞳面光强分布图像,最后计算出光瞳参数。本测量方法可以在较短的测量时间内达到较高的测量精度。 |
申请公布号 |
CN104007619A |
申请公布日期 |
2014.08.27 |
申请号 |
CN201310055717.1 |
申请日期 |
2013.02.21 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
葛亮;马明英 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
一种光瞳面光强分布的测量方法,其特征在于,所述测量方法包括如下步骤:步骤一:设置需要探测的照明模式,激光器打光,照明光经过掩模和透镜,离焦后照射到面阵传感器表面;步骤二:移动面阵传感器以确保照明光斑落于面阵传感器中心;步骤三:调整掩模位置,使得照明光照射到掩模铬区;步骤四:面阵传感器采集照明背景光;步骤五:调整掩模位置,使得照明光照射到掩模的小孔标记上;步骤六:面阵传感器采集照明光,获得反映光瞳面光强分布的图像;步骤七:在两次采集的间隔内,消除照明背景光产生的误差并对采集结果进行迭代计算,根据计算结果重新返回步骤六,直到计算结果与理想光瞳的偏差满足要求,获得反映光瞳面光强分布的图像;步骤八:根据计算结果计算光瞳参数。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 |