透明导电膜及其制造方法、元件、透明导电基板及其器件

摘要

本发明提供：通过低成本且简便的涂布法，特别是在低于300℃的低温加热来形成的兼备良好透明性、高导电性、且膜强度优良的透明导电膜，及其制造方法,即：在基板上形成含有有机金属化合物的涂布膜的涂布工序；从上述涂布膜干燥形成干燥涂布膜的干燥工序；对上述干燥涂布膜一边加热一边照射能量线以形成无机膜的加热并照射能量线的工序；根据需要，经由加热还原工序的各工序而形成透明导电膜；上述加热并照射能量线的工序为：将上述干燥涂布膜在露点温度－10℃以下的含氧气氛下一边加热至低于300℃的加热温度一边照射能量线，通过除去干燥涂布膜中所含的有机成分以形成致密地填充有以金属氧化物作为主成分的导电性氧化物微粒的导电性氧化物微粒层。

主权项

透明导电膜的制造方法，其经由以下各工序来形成的透明导电膜，所述工序包括：将含有有机金属化合物作为主成分的透明导电膜形成用涂布液涂布在基板上以形成涂布膜的涂布工序；将上述涂布膜干燥以形成干燥涂布膜的干燥工序；对上述干燥涂布膜一边加热一边照射能量线以形成以无机成分的金属氧化物作为主成分的无机膜的加热并照射能量线的工序；其特征在于，上述加热并照射能量线的工序是以形成图案形状的方式照射能量线来进行能量线照射以形成具有图案形状的导电性氧化物微粒层的工序：将上述干燥工序中形成的以有机金属化合物作为主成分的上述干燥涂布膜在露点温度－10℃以下的含氧气氛下一边加热至低于300℃的加热温度一边照射能量线，通过分解或燃烧或者分解并燃烧来除去上述干燥涂布膜中所含的有机成分以形成致密地填充有以金属氧化物作为主成分的导电性氧化物微粒的导电性氧化物微粒层；上述能量线为紫外线，上述有机金属化合物包含有机铟化合物、有机锡化合物、有机锌化合物中的任意一种以上，上述金属氧化物为氧化铟、氧化锡、氧化锌中的任意一种以上。