砷化镓晶体定向测试仪

摘要

砷化镓晶体定向测试仪，包括机台、工作台、二维调整夹具、X光发射仪、X光接收仪、测量基准板及测量基准板升降装置。机台上设有装工作台基准板的机台滑道，工作台固定在工作台基准板上，机台上固定有工作台驱动电机，其动力输出轴与工作台基准板固定连接，通过工作台基准板可在机台滑道上前后滑动。二维调整夹具固定在工作台上。机台上固定装有控制面板的机体防护罩。测量基准板升降装置，包括升降电机，固联在升降电机动力输出轴上的升降导轨。升降导轨上连接有装有X光发射仪和X光接收仪测量基准板，测量基准板的底部固定有一定位针，使测量基准板转动的减速机主轴与编码器连接。本实用新型结构简单、使用方便、加工效率高。

主权项

砷化镓晶体定向测试仪，包括机台（7）、工作台（9）、二维调整夹具（5）、X光发射仪（3）、X光接收仪（11）、测量基准板（2）及测量基准板升降装置，其特征在于所述的机台（7）上设有机台滑道（16），机台滑道（16）上设置有工作台基准板（8），所述的工作台（9）固定在工作台基准板（8）上，机台（7）上固定有工作台驱动电机（6），工作台驱动电机（6）的动力输出轴与工作台基准板（8）固定连接，在工作台驱动电机（6）的驱动下，工作台（9）通过工作台基准板（8）可在机台滑道（16）上前后进行滑动，所述的二维调整夹具（5）固定在工作台（9）上，所述机台（7）上固定有机体防护罩（13），机体防护罩（13）上固定有控制面板（12），所述测量基准板升降装置，包括升降导轨（10）和升降电机（1），升降电机（1）固定在导柱顶端，升降导轨（10）固联在升降电机（1）的动力输出轴上，升降导轨（10）上连接有一测量基准板（2），所述的X光发射仪（3）和X光接收仪（11）固定在测量基准板（2）上，测量基准板（2）的底部固定有一定位针（4），使测量基准板转动的减速机主轴（14）与编码器（15）连接，通过传动比显示输出转动角度。