一种单晶炉的停炉冷却系统及工艺

摘要

本发明涉及一种单晶炉的停炉冷却系统，包括单晶炉、过滤器、真空泵，三者顺序连接，单晶炉的排气口设置排气口阀门A，过滤器上设置放气阀B，真空泵的入口设置电磁阀C；排气口阀门A、放气阀B、电磁阀C与统一的控制系统信号连接，由其自动控制开启或关闭。单晶炉拉晶结束后，关闭排气口阀门A，氩气或氮气继续冲入单晶炉；关闭真空泵，同时关闭电磁阀C；当单晶炉内压力接近1个大气压时，自动开启放气阀B；当单晶炉内压力略大于1个大气压时，自动开启排气口阀门A，单晶炉通过放气阀B排(风)气进行冷却。本发明使得气体热对流效果大大加强，单晶炉的冷却时间缩短20％以上；同时大大降低了单晶硅生产的耗能程度，具有节能减排的技术效果。

主权项

一种单晶炉的停炉冷却系统，包括单晶炉、过滤器、真空泵，三者顺序连接，其特征在于：单晶炉的排气口设置排气口阀门A，过滤器上设置放气阀B，真空泵的入口设置电磁阀C。