发明名称 | 一种取向热敏薄膜电阻的制备方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种取向热敏薄膜电阻的制备方法,该方法将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝为原料,分别溶解在冰醋酸和乙二醇甲醚中,得到纯清溶液,通过旋涂法沉积在(100)取向的镍酸镧基底上,预处理挥发有机物,多次重复旋涂得到所需膜厚,经过最终热处理,得到取向热敏薄膜,制备电极得到热敏电阻。由于取向薄膜相对普通薄膜具有更高的晶粒有序排列,不但能够满足电子设备结构的微型化、集成化及高温环境使用的要求,而且能在实际应用中满足器件的更快响应的需求。 | ||
申请公布号 | CN104003724A | 申请公布日期 | 2014.08.27 |
申请号 | CN201410260345.0 | 申请日期 | 2014.06.12 |
申请人 | 中国科学院新疆理化技术研究所 | 发明人 | 徐金宝;熊信谦;王红光;王磊;边亮 |
分类号 | C04B35/50(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/50(2006.01)I |
代理机构 | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所 65106 | 代理人 | 张莉 |
主权项 | 一种取向热敏薄膜电阻的制备方法,其特征在于按下列步骤进行:a、将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝作原料,分别溶解在冰醋酸中和乙二醇甲醚中,其中冰醋酸与乙二醇甲醚的体积比为1:1,然后在温度60‑90℃下,搅拌,待溶解完毕,停止加热,冷却至室温;b、再将步骤a中三种溶液混合,继续搅拌6h,调制成浓度为0.05‑0.2mol/L溶液,过滤,静置8h,形成锰铝酸镧溶胶;c、利用旋涂法,室温下将步骤b锰铝酸镧溶胶滴在(100)取向的镍酸镧基底上,在匀胶机上匀胶20s,转速为3500r/min,然后在管式炉内保持3min,处理温度为300℃,挥发薄膜中的有机物,重复匀胶制膜,得到150‑1500nm厚度的薄膜;d、将步骤c获得的薄膜在温度750℃下静置处理1h,得到均匀的取向热敏薄膜,然后在离子溅射仪上溅射金电极,温度200℃下静置10min,再焊接Pt引线,即可得到薄膜热敏电阻。 | ||
地址 | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市北京南路40号附1号 |