波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备

摘要

本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块以及电子设备，其具备：与第一反射膜（35）电连接的第一驱动电极（36），与第二反射膜（45）电连接的第二驱动电极（46），第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜的厚度尺寸，第二驱动电极的厚度尺寸形成得大于第二反射膜的厚度尺寸，第一驱动电极在与第一反射膜连接的端部，具有厚度尺寸小于第一反射膜的厚度尺寸的第一阶梯部（37），第二驱动电极在与第二反射膜连接的端部具有厚度尺寸小于第二反射膜的厚度尺寸的第二阶梯部（47），第一反射膜从固定基板（30）的表面延伸至第一阶梯部的表面而形成，第二反射膜（45）从可动基板（40）的表面延伸至第二阶梯部的表面而形成。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，与所述第一反射膜相对配置；第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一反射膜电连接；以及第二连接电极，设置所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二反射膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸，所述第二连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸，所述第一连接电极在与所述第一反射膜连接的端部具有厚度尺寸小于所述第一反射膜的厚度尺寸的第一阶梯部，所述第二连接电极在与所述第二反射膜连接的端部具有厚度尺寸小于所述第二反射膜的厚度尺寸的第二阶梯部，所述第一反射膜从所述第一基板的表面延伸至所述第一阶梯部的表面延伸而形成，所述第二反射膜从所述第二基板的表面延伸至所述第二阶梯部的表面延伸而形成。