圆盘状基板的制造方法

摘要

本发明提供一种圆盘状基板的制造方法，该制造方法降低放置圆盘状基板时产生的损伤等。通过将托架附件(50)装配于托架(30)，从而利用托架附件(50)覆盖托架(30)的表面。然后，经由(通过)托架附件(50)的孔部(54)将工件放置于托架(30)的孔部(34)。进而，在工件的放置结束后，通过将环部(59b)拉起而将托架附件(50)卸下。然后，使上盘移动直到该上盘与工件接触，并使研磨机工作。

主权项

一种圆盘状基板的制造方法，该制造方法将托架载置于上下一对磨削盘中的下磨削盘，将圆盘状基板放置于该托架的开口中，利用这一对磨削盘对该圆盘状基板的表面和背面进行磨削，其特征在于，在所述托架上放置与该托架的所述开口对应地形成有开口的、柔软性比该托架的柔软性高且能够相对于该托架进行装卸的托架附件，其中在以所述托架附件的所述开口与所述托架的所述开口重合的方式对所述托架附件进行定位的状态下，将所述托架附件放置在该托架上并利用该托架附件覆盖该托架的表面，然后，经由该托架附件的开口将所述圆盘状基板放置于该托架的开口中，并且该圆盘状基板的制造方法具有在利用能够相对于所述托架进行装卸的托架附件覆盖所述托架的表面之后，将所述圆盘状基板放置于该托架的所述开口中的工序，并且具有在研磨工序或磨光工序之前将该托架附件从该托架卸下的工序。