发明名称 Molekulare Hochvakuumpumpe
摘要 <p>Molekulare Hochvakuumpumpe, insbesondere Holweckpumpe, mit zwei sich relativ zueinander bewegenden Förderelementen (28, 38) zum Fördern von Gasen in molekularen Druckbereichen und einem zwischen zwei durch die beiden Förderelemente (28, 38) ausgebildeten Förderbereichen (30) angeordnetem Dichtelement, wobei das Dichtelement einen durch einander gegenüberliegende Oberflächen (40, 42) ausgebildeten Dichtspalt aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Oberflächen (40, 42) Vertiefungen (44, 46) aufweist.</p>
申请公布号 DE202013004821(U1) 申请公布日期 2014.08.25
申请号 DE20132004821U 申请日期 2013.05.24
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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