摘要 |
<p>Molekulare Hochvakuumpumpe, insbesondere Holweckpumpe, mit zwei sich relativ zueinander bewegenden Förderelementen (28, 38) zum Fördern von Gasen in molekularen Druckbereichen und einem zwischen zwei durch die beiden Förderelemente (28, 38) ausgebildeten Förderbereichen (30) angeordnetem Dichtelement, wobei das Dichtelement einen durch einander gegenüberliegende Oberflächen (40, 42) ausgebildeten Dichtspalt aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Oberflächen (40, 42) Vertiefungen (44, 46) aufweist.</p> |