发明名称 Cleaning device of semiconductor manufacturing equipment
摘要
申请公布号 KR200474139(Y1) 申请公布日期 2014.08.25
申请号 KR20120007715U 申请日期 2012.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址