| 摘要 |
Procédé de fabrication d'une structure micromécanique et/ou nanomécanique comportant les étapes à partir d'un élément comportant un substrat support et une couche sacrificielle : a) formation d'une première couche dont au moins une partie est poreuse, b) formation, sur la première couche, d'une couche en un (ou plusieurs) matériau(x) assurant les propriétés mécanique de la structure, dite couche intercalaire, c) formation, sur la couche intercalaire, d'une deuxième couche dont au moins une partie est poreuse, d) formation de ladite structure dans l'empilement de la première couche, de la couche intercalaire et de la deuxième couche, e) libération de ladite structure par retrait au moins partielle de la couche sacrificielle. |
