| 摘要 |
Die Offenbarung schafft einen Verbundsensor mit hoher Zuverlässigkeit und ein Verfahren zum Herstellen desselben. Ein beweglicher Körper eines Beschleunigungssensors und ein Oszillator eines Winkelgeschwindigkeitssensors sind auf demselben Sensor-Wafer vorgesehen, während sie durch eine Wand abgeteilt sind, wobei ein Abdeck-Wafer so ausgebildet ist, dass er eine Lücke aufweist, die jedem der Sensoren entspricht. In einem Sensorabdichtabschnitt sind ein Durchgangsloch und ein Löthöcker ausgebildet, wobei der Beschleunigungssensor in einem ersten Abdichtungsprozess in einer Luftatmosphäre abgedichtet wird, während der Winkelgeschwindigkeitssensor in einem zweiten Abdichtungsprozess abgedichtet wird, indem die Sensoren und die Abdeckung miteinander in Kontakt gebracht werden und die Sensoren und die Abdeckung in einer Unterdruckatmosphäre verbunden werden. Danach wird ein Wafer des Verbundsensors geschnitten, werden eine Leiterplatte und eine Verdrahtungsplatte daran angebracht und wird ein Verbundsensor gebildet. |
