金属嵌入光罩及其制造方法

摘要

一种金属嵌入光罩之制造方法包含：将至少一金属材料形成于一基板上，基板具有复数凸部突出于基板之一表面，各凸部具有复数侧面及一顶面，该等侧面连接顶面与表面，金属材料形成于顶面及表面；贴附一软性膜材于基板之顶面；以及使软性膜材自顶面脱离而将位于顶面之金属材料部分移除。本发明之金属嵌入光罩之制造方法制程简易且大幅降低成本，并且本发明之金属嵌入光罩之金属材料不会形成在凸部的顶面，因而避免金属材料所形成之金属层与另一基板摩擦，而能延长光罩之使用寿命。

主权项

一种金属嵌入光罩之制造方法，包含：将至少一金属材料形成于一基板上，该基板具有复数凸部突出于该基板之一表面，各该凸部具有复数侧面及一顶面，该等侧面连接该顶面与该表面，该金属材料形成于该顶面及该表面；贴附一软性膜材于该基板之该等顶面；以及使该软性膜材自该等顶面脱离而将位于该等顶面之金属材料移除；其中该金属层之一厚度小于等于该凸部之一高度之一半，并大于等于该凸部之该高度之四分之一。