弹簧片、置物台系统及微影装置

摘要

本发明揭示一种用以安装于两个物件之间的弹簧片，该弹簧片经组态以具有在两个正交方向上之一高硬度，及在其他自由度上之一相对低硬度，其中该弹簧片具有一实质上面板形本体，该弹簧片包括在该面板形本体之中心处或附近以将该弹簧片安装至该两个物件中之一第一物件的一第一安装部位，其中该弹簧片包括在该面板形本体之圆周处或附近以将该弹簧片安装至该两个物件中之该第二物件的一或多个第二安装部位，及在该面板形本体中该第一安装部位与该第二安装部位之间的狭长凹槽及/或狭缝，该等凹槽及/或狭缝在该两个正交方向之平面中延行于至少两个非正交方向上。

主权项

一种弹簧片，其经组态以安装于两个物件之间，且具有在两个正交方向上之一高硬度(stiffness)，及在其他自由度上之一相对低硬度，该弹簧片具有一实质上面板形(panel-shaped)本体，该弹簧片包含：一第一安装部位，其在该面板形本体之一中心处或附近以将该弹簧片安装至该两个物件中之一第一物件；一或多个第二安装部位，其在该面板形本体之一圆周处或其附近以将该弹簧片安装至该两个物件中之一第二物件；及狭长凹槽及/或狭缝，其在该面板形本体中配置于该第一安装部位与该第二安装部位之间，该等凹槽及/或狭缝在该两个正交方向之平面中延行(running)于至少两个非正交方向上。