基板保持具安装用基座材

摘要

【物品用途】;本设计的物品是基板保持具安装用基座材，可供安装：基板保持具，该基板保持具是可更换的设置于用来保持与搬运例如：半导体晶圆之类的圆形基板之基板搬运臂上。;【设计说明】;右侧视图与左侧视图对称，右侧视图省略。