微影设备之光罩清洁方法及微影设备之光罩清洁系统

摘要

一种微影设备之光罩清洁方法，系由配置于微影设备中的检查装置来对EUV光罩盒中的光罩执行清洁，其中光罩清洁方法包括：传递EUV光罩盒至检查装置的上舱中；将检查装置的上舱形成真空状态；传递该EUV光罩盒之内盒至检查装置的下舱中；将检查装置的下舱形成真空状态；执行复数次的充气与抽真空之清洁程序，其中充气之程序系提供一惰性气体对内盒进行复数次的充气，使得惰性气体在内盒中所形成之流场，能将内盒中的微粒被带走；传递该内盒至一光罩储存库中。

主权项

一种微影设备之光罩清洁方法，系由一配置于一微影设备中的检查装置来对一EUV光罩盒中的光罩执行清洁，而该检查装置系由一上舱及一下舱所组成，其中该光罩清洁方法包括：传递该EUV光罩盒至该检查装置的上舱中，该EUV光罩盒包含一外盒及一内盒，而该光罩系储存于该内盒中；形成该上舱于一真空状态；传递该EUV光罩盒之该内盒至该检查装置的下舱中；执行该光罩之清洁程序，系先对该下舱执行抽真空，再对该EUV光罩盒执行充气，其中该充气系提供一惰性气体对该内盒进行充气，使得该惰性气体在内盒中形一气体流场，以藉由该气体流场将该光罩上的微粒带走；传递该内盒至一光罩储存库中。