Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks mit polierter Oberfläche und Verwendung dieses Verfahrens

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks aus einem dielektrischen Material, das mindestens eine polierte Oberfläche aufweist. Bei dem Verfahren wird das Material mit einem Laserstrahl zumindest an der polierten Oberfläche lokal beeinflusst, um einen Materialabtrag oder eine physikalische oder chemische Modifikation des Materials zu erreichen. Die polierte Oberfläche wird vor der Bearbeitung mit einer polierten Substratfläche eines Hilfssubstrates verbunden, das für die Laserstrahlung zumindest teilweise transparent ist und nach der Bearbeitung wieder vom Werkstück abgelöst wird. Durch den Einsatz des Hilfssubstrates werden Muschelausbrüche bei der Bearbeitung der polierten Oberfläche vermieden.