面板玻璃薄化蚀刻装置

摘要

一种面板玻璃薄化蚀刻装置，包含一面板玻璃馈送载具，其上包含轨道，轨道上配置有固定夹具用于夹持复数片面板玻璃于其内；一面板玻璃清洗蚀刻机具，包含一面板玻璃运送轨道。该机具包含清洗区及蚀刻区。其中该清洗区上方有一清洗液喷洒管路结构，用于清洗该面板玻璃；以及该蚀刻区的上方有一蚀刻液喷洒管路结构用于蚀刻该面板玻璃。该喷洒管路结构包含：一流体馈送外管，外管为一框型结构。该喷洒管路结构由两ㄇ型的管路位在两边，该两ㄇ型管路的两边分别以两直管可拆卸之外管套环对接，其外管套环对接方式可以应用紧配或螺纹对接；两ㄇ型管路的两边以为数众多的喷洒管连接；其中该喷洒管应用可拆卸之喷洒管套环与该连接管连接。而令从该连接管之出口端流出的液体进入该喷洒管；以及该喷洒管的下方有为数众多的喷洒孔，所以进入该喷洒管的液体可以直接由该喷洒孔喷洒出来。

主权项

一种面板玻璃薄化蚀刻装置，包含一面板玻璃馈送载具，其上包含一面板玻璃馈送轨道，轨道上配置有面板玻璃固定夹具用于夹持复数片面板玻璃于其内；该馈送载具可以将面板玻璃馈送或载离；一面板玻璃清洗蚀刻机具，包含一面板玻璃运送轨道，可以接收来自该馈送载具的面板玻璃，并经由该轨道将该面板玻璃与该机具的不同区域中传送；该机具包含两不同的区域，第一区为清洗区，第二区为蚀刻区；其中该运送轨道横跨该清洗区及蚀刻区，以将该面板玻璃在这两区域中传送；其中该清洗区上方有一清洗液喷洒管路结构，可以将清洗液由该管路结构的为数众多之喷洒口喷出以清洗该面板玻璃；以及该蚀刻区的上方有一蚀刻液喷洒管路结构，可以将蚀刻液由该管路结构的为数众多之喷洒口喷出以蚀刻该面板玻璃。