Verfahren zur Herstellung eines Galliumarsenidsubstrats, Galliumarsenidsubstrat und Verwendung desselben

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein neues Verfahren zur Herstellung eines oberflächenbehandelten Galliumarsenidsubstrats sowie neu bereitsgestellte Galliumarsenidsubstrate als solche sowie deren Verwendung. Die Verbesserung des erfindungsgemäßen Verfahrens beruht auf einer besonderen Endoberflächenbehandlung mit einer Oxidationsbehandlung mindestens einer Oberfläche des Galliumarsenidsubstrats im trockenen Zustand mittels UV-Strahlung und/oder Ozon-Gas, einem Kontaktieren der mindestens einen Oberfläche des Galliumarsenidsubstrats mit mindestens einem flüssigen Medium und einem Marangoni-Trocknen des Galliumarsenidsubstrats. Die erfindungsgemäß bereitgestellten Galliumarsenidsubstrate weisen eine bisher nicht erreichte Oberflächengüte auf, insbesondere eine Homogenität von Oberflächeneigenschaften, die mittels optischen Oberflächenanalysatoren, speziell mittels ellipsometrischem lateralen Substratmapping für die optische kontaktfreie quantitative Charakterisierung detektierbar ist.