发明名称 |
金属基带上适用于REBCO超导层生长的模板制备方法 |
摘要 |
本发明是一种金属基带上适用于REBCO超导层生长的模板制备方法,属于高温超导材料制备技术领域。本发明包括以下步骤:(1)金属基带表面清洗;(2)采用化学溶液平坦化方法(SDP)在金属基带上制备隔离层;(3)采用离子束辅助射频磁控溅射方法(IBAD-MgO)在隔离层上制备双轴织构氧化镁层;(4)采用射频磁控溅射方法制备锰酸镧层;(5)采用直流磁控反应溅射方法制备氧化铈层。本发明通过物理与化学制备方法的综合应用,为规模化生产高温超导带材模板提供了一种低成本制备方法。 |
申请公布号 |
CN103993277A |
申请公布日期 |
2014.08.20 |
申请号 |
CN201410217749.1 |
申请日期 |
2014.05.22 |
申请人 |
赵遵成 |
发明人 |
赵遵成;田晓光;卢涛;杨广军 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种金属基带上适用于REBCO超导层生长的模板制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1) 金属基带表面清洗;(2) 采用化学溶液平坦化方法(SDP)在金属基带上制备隔离层;(3) 采用离子束辅助射频磁控溅射方法(IBAD‑MgO)在隔离层上制备双轴织构氧化镁层;(4) 采用射频磁控溅射方法在双轴织构氧化镁层上制备锰酸镧层;(5) 采用直流磁控反应溅射方法在锰酸镧层上制备氧化铈层。 |
地址 |
475004 河南省开封市金明大道1号河南大学物理与电子学院 |