发明名称 金属基带上适用于REBCO超导层生长的模板制备方法
摘要 本发明是一种金属基带上适用于REBCO超导层生长的模板制备方法,属于高温超导材料制备技术领域。本发明包括以下步骤:(1)金属基带表面清洗;(2)采用化学溶液平坦化方法(SDP)在金属基带上制备隔离层;(3)采用离子束辅助射频磁控溅射方法(IBAD-MgO)在隔离层上制备双轴织构氧化镁层;(4)采用射频磁控溅射方法制备锰酸镧层;(5)采用直流磁控反应溅射方法制备氧化铈层。本发明通过物理与化学制备方法的综合应用,为规模化生产高温超导带材模板提供了一种低成本制备方法。
申请公布号 CN103993277A 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN201410217749.1 申请日期 2014.05.22
申请人 赵遵成 发明人 赵遵成;田晓光;卢涛;杨广军
分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 主分类号 C23C14/35(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种金属基带上适用于REBCO超导层生长的模板制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1) 金属基带表面清洗;(2) 采用化学溶液平坦化方法(SDP)在金属基带上制备隔离层;(3) 采用离子束辅助射频磁控溅射方法(IBAD‑MgO)在隔离层上制备双轴织构氧化镁层;(4) 采用射频磁控溅射方法在双轴织构氧化镁层上制备锰酸镧层;(5) 采用直流磁控反应溅射方法在锰酸镧层上制备氧化铈层。
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