柱面干涉拼接测量装置及其调整方法

摘要

本发明涉及一种圆柱度误差干涉测量装置及其调整方法。它包括干涉仪、支座、六维调整架、CGH、一维导轨平台、被测件、四维调整机构、五维调整机构、电控升降台。所述支座上安装干涉仪和一维导轨平台，一维导轨平台上安装六维调整架，将CGH安装在六维调整架上，使干涉仪出射光轴能够通过CGH中心，并且能调整CGH与被测件之间的距离；由所述四维调整机构、五维调整机构和电控升降台组成被测件调节机构，被测件调节机构下端是电控升降台。通过调节四维调整平台使被测件轴心线与五维调整平台上的转动平台的轴心线重合；再调节五维调整平台使转动平台的轴心线与CGH产生的柱面焦线精确重合；通过转动平台并配合升降台，实现柱型被测件的面型的整周检测。

主权项

一种柱面干涉拼接测量装置，包括干涉仪（1）、支座（2）、六维调整架（3）、CGH（4）、一维导轨平台（5）、被测件（6）、四维调整机构（7）、五维调整机构（8）、电控升降台（9）；其特征在于：所述支座（2）上安装干涉仪（1）和一维导轨平台（5），一维导轨平台（5）上安装六维调整架（3），将CGH（4）安装在六维调整架（3）上，使干涉仪（1）出射光轴能够通过CGH（4）中心，并且能调整CGH（4）与被测件（6）之间的距离；由所述四维调整机构（7）、五维调整机构（8）和电控升降台（9）组成被测件调节机构，被测件调节机构下端是电控升降台（9），电控升降台（9）上面固定五维调整机构（8），用来调整被测件（6）的轴心线与CGH（4）产生的柱面波焦线重合，五维调整机构（8）上面固定四维调整机构（7），用来调整被测件（6）的轴心线与被测件调节机构的旋转中心线重合，四维调节机构（7）上面固定被测件（6）。