多晶硅铸锭炉的溢流保护衬底盘

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的防溢流衬底盘，解决了现有的在多晶硅生产过程中由于液态硅的溢流容易导致铸锭炉爆炸的问题。包括在多晶硅铸锭炉下炉体（6）的底面上设置的溢流棉（7）上设置有防溢流衬底盘（1），在防溢流衬底盘（1）的底面上分别设置有热电耦通过管（2）和坩埚台支柱通过管（3），在防溢流衬底盘上分别固定设置有呈风车叶片形的螺旋状导流板（4）和环形导流板（5），在从坩埚台支柱通过管（3）穿过的坩埚台支柱（8）的顶端设置有放置坩埚的石墨平台（10），在防溢流衬底盘（1）的底部设置有粉末状硅料层（11）、颗粒状硅料层（12）和块状硅料层（13）。实现了对溢流液态硅的吸收和固化，保证了生产过程的安全。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的防溢流衬底盘，包括圆形或椭圆形的防溢流衬底盘（1），其特征在于，在防溢流衬底盘（1）的底面上分别设置有热电耦通过管（2）和坩埚台支柱通过管（3），在防溢流衬底盘（1）上分别固定设置有呈风车叶片形的螺旋状导流板（4）和环形导流板（5）。