发明名称 一种太阳能硅片切割液
摘要 本发明公开了一种太阳能硅片切割液,其含有聚乙二醇,分散剂,表面活性剂,消泡剂和鳌合剂。本发明的太阳能硅片切割液能提高碳化硅的分散性和再分散性,确保了浆料的稳定性和持久性;可实现100%使用回收碳化硅,大大降低了成本;可降低切片的表面损伤,机械应力,热应力及金属离子对硅片的污染,有利于硅片后道清洗,提高了后端太阳能电池的转化效率;能有效地改善硅片的厚度误差,提高切割良率。
申请公布号 CN102093925B 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN200910200314.5 申请日期 2009.12.11
申请人 安集微电子(上海)有限公司 发明人 于昊;宫勇;兰育辉
分类号 C10M169/04(2006.01)I;C10M107/32(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N 主分类号 C10M169/04(2006.01)I
代理机构 上海翰鸿律师事务所 31246 代理人 李佳铭
主权项 一种太阳能硅片切割液,含有聚乙二醇组分,分散剂,表面活性剂,消泡剂和螯合剂,其中所述的分散剂选自由丙烯酸、甲基丙酸酸、乙基丙烯酸、烯基磺酸、苯乙烯磺酸、马来酸酐、烷基丙烯氧基磺酸、丙烯酰胺基磺酸中的一种或多种为单体单元而得到的均聚物或共聚物中的一种或多种,且所述的均聚物或共聚物的分子量为600‑5000,所述的分散剂的质量百分含量为0.1~16%,所述的聚乙二醇组分的质量百分含量为60~95%,所述的表面活性剂的质量百分含量为0.3~20%,所述的消泡剂的质量百分含量为0.1~5%,所述的螯合剂的质量百分含量为0.5~4%。
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