高量程加速度传感器的机械滤波方法

摘要

本发明涉及高量程加速度传感器的滤波技术，具体是一种高量程加速度传感器的机械滤波方法。本发明解决了现有高量程加速度传感器的滤波技术无法避免高频噪声对高量程加速度传感器的损害、制作工艺复杂、生产成本高、以及无法满足高量程加速度传感器对微型化的要求的问题。高量程加速度传感器的机械滤波方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.选取缓冲层作为内滤波结构，并通过缓冲层将高量程加速度传感器的敏感结构粘结于高量程加速度传感器的管壳的内腔底面上；b.选取台形结构作为外滤波结构，并保证台形结构的上底面的面积大于高量程加速度传感器的管壳的下底面的面积。本发明适用于对高量程加速度传感器进行滤波。

主权项

一种高量程加速度传感器的机械滤波方法，其特征在于：该方法是采用如下步骤实现的：a.选取缓冲层（5）作为内滤波结构，并通过缓冲层（5）将高量程加速度传感器的敏感结构（4）粘结于高量程加速度传感器的管壳（1）的内腔（3）底面上；通过缓冲层（5）对高量程加速度传感器的敏感结构（4）进行滤波；b.选取台形结构（6）作为外滤波结构，并保证台形结构（6）的上底面的面积大于高量程加速度传感器的管壳（1）的下底面的面积；然后在台形结构（6）的下底面挖设弧面空腔（7），使得台形结构（6）的上、下底面的面积相等；而后将高量程加速度传感器的管壳（1）与台形结构（6）固定；通过台形结构（6）对高量程加速度传感器的管壳（1）和高量程加速度传感器的敏感结构（4）进行滤波。