发明名称 |
一种吸收、倍增层分离且具有滤波功能的可见光雪崩光电探测器 |
摘要 |
本发明涉及可见光探测器的技术领域,更具体地,涉及一种吸收、倍增层分离且具有滤波功能的可见光雪崩光电探测器。一种吸收、倍增层分离且具有滤波功能的可见光雪崩光电探测器,其中,包括衬底,依次生长在衬底上的缓冲层,非故意掺杂GaN层,n型掺杂GaN层,n型掺杂In<sub>z</sub>Ga<sub>1-z</sub>N层,n型掺杂In<sub>y</sub>Ga<sub>1-y</sub>N接触层,非故意掺杂高阻In<sub>y</sub>Ga<sub>1-y</sub>N吸收层,低掺杂浓度的n型In<sub>y</sub>Ga<sub>1-y</sub>N组分缓变层,非故意掺杂高阻In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>N倍增层,p型掺杂In<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>N层。其中n型掺杂In<sub>z</sub>Ga<sub>1-z</sub>N层充当窗口层的作用,仅允许波长大于In<sub>z</sub>Ga<sub>1-z</sub>N材料截止波长的光信号通过,进入到吸收层上被吸收,起到滤波的作用;而光吸收层和倍增层分离则有利于单载流子(空穴)触发的雪崩增益,从而实现低噪声、高增益的高性能可见光探测器与滤波器的单芯片集成。 |
申请公布号 |
CN103996737A |
申请公布日期 |
2014.08.20 |
申请号 |
CN201410190095.8 |
申请日期 |
2014.05.07 |
申请人 |
中山大学 |
发明人 |
江灏;韩恩泽 |
分类号 |
H01L31/107(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/107(2006.01)I |
代理机构 |
广州粤高专利商标代理有限公司 44102 |
代理人 |
陈卫 |
主权项 |
一种吸收、倍增层分离且具有滤波功能的可见光雪崩光电探测器,其特征在于,包括衬底(1),依次生长在衬底(1)上的缓冲层(10),非故意掺杂GaN层(2),n型掺杂GaN层(3),n型掺杂In<sub>z</sub>Ga<sub>1‑z</sub>N层(4), n型掺杂In<sub>y</sub>Ga<sub>1‑y</sub>N接触层(5),非故意掺杂高阻In<sub>y</sub>Ga<sub>1‑y</sub>N吸收层(6),低掺杂浓度的n型In<sub>y</sub>Ga<sub>1‑y</sub>N组分缓变层(7),非故意掺杂高阻In<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x</sub>N倍增层(8),p型掺杂In<sub>x</sub>Ga<sub>1‑x</sub>N层(9)。 |
地址 |
510275 广东省广州市新港西路135号 |