MEMS器件的弹簧系统

摘要

弹簧系统（74）联接MEMS器件（72）的一对驱动质量块（30、32）。所述弹簧系统（74）包括被定向以形成平行四边形布置（84）的不易弯曲横梁(76、78、80、82)。所述横梁与所述质量块（30、32）的驱动方向（56）对角定向。所述平行四边形布置（84）的斜对角耦合于驱动质量块（30、32）。弹簧（90）耦合于角（94）以及弹簧（92）耦合于所述平行四边形布置（84）的斜对角（96）。所述弹簧（92、94）与围绕所述驱动质量块的感测框架（34）互连。所述横梁和侧弹簧是不易弯曲的以基本防止所述驱动质量块的同相运动（66）。然而，旋转的柔性弯曲(102、104、106、108)允许所述布置（84）压扁和扩展以使能所述驱动质量块的反相运动（60）。

主权项

一种微机电系统（MEMS）器件，包括：第一可移动质量块;第二可移动质量块；以及用于将所述第一可移动质量块耦合于所述第二可移动质量块的弹簧系统，所述弹簧系统包括：相对于彼此定向以形成平行四边形布置的不易弯曲横梁的集合，所述横梁与所述第一和第二可移动质量块的驱动方向对角定向，其中所述平行四边形布置的第一角被配置为耦合于所述第一可移动质量块以及所述平行四边形布置的第二角被配置为耦合于所述第二可移动质量块，所述第二角与所述第一角对角相对；耦合于所述平行四边形布置的第三角的第一侧弹簧；以及耦合于所述平行四边形布置的第四角的第二侧弹簧，所述第四角与所述第三角对角相对。