检测金属线故障的方法和系统

摘要

本发明提供了一种检测全芯片中的金属线故障的方法和系统。在用于全芯片的检测金属线故障的方法中，第一网表被转换为第二网表。所述第一网表包括与元件和金属线有关的第一信息，所述第二网表包括允许直接电流分析的第二信息。通过对所述第二网表执行所述直接电流分析，计算金属线的电流密度。基于所述金属线的所述电流密度，检测金属线中的缺陷金属线。

主权项

一种检测全芯片中的金属线故障的方法，所述方法包括：将第一网表转换为第二网表，所述第一网表具有与元件和金属线对应的第一信息，且所述第二网表具有允许直接电流分析的第二信息，所述元件对应于场效应晶体管和电容器，且所述金属线对应于第一电阻器；通过对所述第二网表执行直接电流分析来计算所述金属线的电流密度；和基于所述金属线的电流密度，使用计算机来检测所述金属线中的缺陷金属线，其中，电流源提供具有最大值为由静电放电(ESD)事件引起的放电电流的电流，其中，将所述第一网表转换为所述第二网表包括：将所述场效应晶体管转换为第二电阻器；将所述电容器转换为断开回路；和在输入管脚和接地管脚之间添加电流源，以及其中，将所述场效应晶体管转换为第二电阻器包括：计算所述场效应晶体管的漏极电流；计算所述场效应晶体管的漏极端和源极端之间的电压差；和通过将所述漏极电流除以所述电压差确定所述第二电阻器的阻抗。