发明名称 |
用于扫描探针装置的金属尖以及制造该金属尖的方法 |
摘要 |
提供了一种用于扫描探针装置的金属尖(1)。该金属尖1具有轴向长度(1),径向长度(d),从最大径向长度部分(5)轴向延伸至原子级尖端(9)的尖的部分(B),以及从最大径向长度部分(5)轴向延伸至钝的末端(7)的钝的部分(A),其中,尖的部分(B)的轴向长度大于钝的部分(A)的轴向长度,金属尖的质量为10μg或更少。 |
申请公布号 |
CN102483429B |
申请公布日期 |
2014.08.20 |
申请号 |
CN201080034638.7 |
申请日期 |
2010.08.02 |
申请人 |
施佩克斯表面纳米分析股份有限公司 |
发明人 |
埃里克·莱格斯加尔德 |
分类号 |
G01Q70/10(2006.01)I;G01Q70/16(2006.01)I |
主分类号 |
G01Q70/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 |
代理人 |
张小娟 |
主权项 |
一种用于扫描探针装置的金属尖(1),该金属尖(1)具有轴向长度(l),径向长度(d),从最大径向长度部分(5)轴向延伸至原子级尖端(9)的尖的部分(B),以及从最大径向长度部分(5)轴向延伸至钝的末端(7)的钝的部分(A),其中,尖的部分(B)的轴向长度大于钝的部分(A)的轴向长度,其中,金属尖是一个被浸蚀的金属尖,且金属尖的整个表面都被浸蚀,其中,金属尖的质量为10μg或更少。 |
地址 |
德国柏林 |