发明名称 用于扫描探针装置的金属尖以及制造该金属尖的方法
摘要 提供了一种用于扫描探针装置的金属尖(1)。该金属尖1具有轴向长度(1),径向长度(d),从最大径向长度部分(5)轴向延伸至原子级尖端(9)的尖的部分(B),以及从最大径向长度部分(5)轴向延伸至钝的末端(7)的钝的部分(A),其中,尖的部分(B)的轴向长度大于钝的部分(A)的轴向长度,金属尖的质量为10μg或更少。
申请公布号 CN102483429B 申请公布日期 2014.08.20
申请号 CN201080034638.7 申请日期 2010.08.02
申请人 施佩克斯表面纳米分析股份有限公司 发明人 埃里克·莱格斯加尔德
分类号 G01Q70/10(2006.01)I;G01Q70/16(2006.01)I 主分类号 G01Q70/10(2006.01)I
代理机构 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 代理人 张小娟
主权项 一种用于扫描探针装置的金属尖(1),该金属尖(1)具有轴向长度(l),径向长度(d),从最大径向长度部分(5)轴向延伸至原子级尖端(9)的尖的部分(B),以及从最大径向长度部分(5)轴向延伸至钝的末端(7)的钝的部分(A),其中,尖的部分(B)的轴向长度大于钝的部分(A)的轴向长度,其中,金属尖是一个被浸蚀的金属尖,且金属尖的整个表面都被浸蚀,其中,金属尖的质量为10μg或更少。
地址 德国柏林