电子零件的洗净装置及洗净方法

摘要

多个喷射部向夹着电子零件的洗净对象部位的多个喷射区域分别喷射洗净液。多个喷射区域分别延伸成线状。喷射部具有喷射图案，该喷射图案，从喷射区域延伸方向观察的喷射方向相对包含喷射区域的面成为垂直。喷射部配置成喷射区域成为相互并行。使从喷射部喷射的洗净液碰撞喷射区域，由此产生朝向洗净对象部位的洗净液流。

主权项

一种电子零件的洗净装置，洗净电子零件的洗净对象部位，其特征在于：具备向夹着该洗净对象部位的多个喷射区域分别喷射洗净液的多个喷射部；该多个喷射区域分别为线状；该多个喷射部分别具有喷射图案，该喷射图案的从该喷射区域线状延伸方向观察的喷射方向相对包含该喷射区域的面成为垂直；该多个喷射部配置成该多个喷射区域成为相互并行，使从该多个喷射部喷射的该洗净液碰撞该多个喷射区域，由此产生朝向该洗净对象部位的洗净液流，该洗净对象部位包含向该喷射区域开放的该电子零件的间隙，该电子零件具备基板或晶圆及安装于该基板或该晶圆的电子电路芯片；该间隙形成于该基板或该晶圆与该电子电路芯片之间。